FEMAG軟件是世界上第一款商業(yè)的材料晶體生長(zhǎng)數(shù)值模擬軟件,致力于多物理場(chǎng)仿真分析晶體的生長(zhǎng)工藝過程,為用戶提供晶體生長(zhǎng)過程中的重要信息以及影響晶體質(zhì)量的工藝信息,改善晶體質(zhì)量與提高用戶的研發(fā)效率。目前,F(xiàn)EMAG軟件產(chǎn)品有:FEMAG/CZ、FEMAG/CZ/OX、FEMAG/FZ、FEMAG/DS、FEMAG/VB、FEMAG/HEM以及FEMAG/PVT,可有效分析提拉法生長(zhǎng)、泡生法生長(zhǎng)、區(qū)熔法生長(zhǎng)、定向凝固法生長(zhǎng)、垂直布里奇曼法生長(zhǎng)、垂直梯度凝固法生長(zhǎng)、熱交換法生長(zhǎng)以及物理氣相傳輸法生長(zhǎng)等工藝過程。
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FEMAG軟件主要功能:?
(1)在設(shè)計(jì)工程領(lǐng)域,利用FEMAG軟件可以設(shè)計(jì)生長(zhǎng)熔爐系統(tǒng)中保溫套和反射體的形狀、材質(zhì)和位置,可確定加熱器的位置,設(shè)計(jì)輔助加熱器,選擇與設(shè)計(jì)保溫層。?
(2)在質(zhì)量控制工程領(lǐng)域,利用FEMAG軟件可以分析熱應(yīng)力、控制氧/碳含量、摻雜物分布以及控制缺陷,優(yōu)化工藝參數(shù),改善晶體生長(zhǎng)質(zhì)量。?
(3)在成本控制工程領(lǐng)域,利用FEMAG軟件可以評(píng)估能耗、氣耗,也可以評(píng)估原料、輔料的成本與使用壽命。